Storia autobiografica della collaborazione Universita' ST. Appunti l'inizio

 

Catania, 23 gennaio 2006. Universita' di Catania, dipartimento di Fisica ed Astronomia.

In primo piano da sinistra: Giampiero Ottaviani, Giuseppe Zocchi, Gaspare Rodolico, Emanuele Rimini. Toti Pignataro, Orazio Puglisi, Natale Marino. In secondo piano: Pino Ferla, Luigi Fortuna, Salvatore Castorina. In fondo con la cravatta gialla, Gianfranco Cerofolini, in mezzo Angelo Raciti

La foto e' stata presa durante la giornata organizzata da Emanuele Rimini in occasione del mio imminente pensionamento. Raccoglie le immagini di quasi tutti i protagonisti della storia da me vissuta della collaborazione Universita' ST.

Mancano i primi  anni, Con Ercole de Castro, prima,1965 come centro di calcolo di Bologna e poi Come Lamel, CNR e vari professori di Padova per vari studi a partire dall'impiantazione ionica e soprattutto per la qualifica per lo spazio dei primi CMOS e soprattutto moltissimi ricercatori del Lamel di Bologna e della Universita'. Cito soltanto Sandro Solmi e Giorgio Baccarani ma la lista e' veramente lunga

La persona fondamentale durante il passaggio SGS- Fairchild/SGS/SGS-ATES degli anni 1968-1972 e' l'ing Pippo Zocchi.
A lui devo la conoscenza di Giampiero Ottaviani e di Emanuele Rimini.
L'ing Zocchi, credo nel 1972 o poco dopo, aveva organizzato una conferenza AEIT con me e Giampiero Ottaviani sull'impianto ionico.
A Modena, sede del prof Ottaviani, non vi era un impiantatore ionico per cui dissi che potevo trattare la parte teorica io stesso.
Fui pertanto chiamato da Zocchi che, come capo della ricerca era tre livelli gerarchici sopra di me, e mi convinse subito dell'opportunita' di dividere il tempo con Giampiero.
Da subito con Giampiero diventammo grandi amici.
Fra i tanti risultati la diffusivita' del silicio in alluminio, lo studio dell'interfaccia ossido silicio nelle ossidazione in presenza di vapori dell'azeotropo di acido cloridrico, vari studi sulla formazione di siliciuri. Nel 1982 ottenni chi l'impiattore Linear Acceletor su cui avevo lavorato moltissimo fosse donato all'Universita' di Modena. 

Una ulteriore iniziativa dell'ing, Zocchi, destinata ad avere conseguenze durature, fu una conferenza di Emanuele Rimini organizzata in ST attorno al 1974.
A quel tempo avevo introdotto un rapid thermal annealing ante litteram con un forno a doppia parete e raffreddamento con azoto a 5 atmosfere. Attrezzatura un po' troppo artigianale ed un po' pericolosa.
Rimini doveva parlare di laser annealing. Introdusse anche vari concetti sul reverse annealing.
Poco tempo dopo i concetti applicati ai processi risolsero gravi problemi di resa.

Zocchi aveva conosciuto Rimini durante la sua attivita' in ATES a Catania dal 1961 al 1968.
Chiaramente Emanuele, pur essendo a quel tempo molto giovane era riuscito ad impressionarlo.

Ulteriori attivita' promossa dall'ing Zocchi sono state il progetto MADESS ed i due piani nazionali della microelettronica.