Il primo impiantatore ionico

 Agrate, il primo impiantatore ionico.

Primissimi anni del '70. E' un Linear Acceletotor da 80 kVolt, corrente del fascio <10 microampere.
In primo piano un oscilloscopio e l'elettronica della macchina, sullo sfondo un dewar di azoto liquido per le pompe, il carosello dei wafer ed la parte terminale del fascio.
L'operatore sono io, Pino Ferla, nel 1971 (data dei baffi).

La storia ha un inizio remoto, poco prima del 1968, fine 1967.
Era in sviluppo il transistore del front-end dei tuner telvisivi, quello per l'oscillatore ed diodi per la sintonia, i piu' importanti per la storia dell'impiantatore.
I diodi dovevano avere un ampia variazione di capacità rispetto alla tensione applicata, cioe' dovevano avere una giunzione iperbrusca, difficili da realizzare con le tecniche di diffusione disponibili.
Nello stesso periodo il capo del mio capo, non mi e' mai stato molto chiaro chi fosse, credo Beneteau, ma potrebbe essere stao Cabaret, chiese la caratterizzazione di alcuni campioni di silicio impiantati all'universita' di Udine.

Si trattava di azoto impiantato su silicio di tipo P.
Ero mplto esperto nelle tecniche di caratterizzazioni disponibili in quel periodo.
L'effetto termoeletrico, lappatura ad angolo piccolo con deposito elettrotico di rame e vari attacchi chimici per evedenziare i difetti.
Nessuna tecnica dava risultati utili, sembrava che il silicio non avesse avuto nessun trattamento.

Il capo del capo arrivo' in ufficio e spiegai al mio capo che non avevo nessun risultato.
Fui esonerato dallo scrivere il rapporto.
La mia controparte era Paolo Mazzoldi, poi profoessore dell'Universita' di Padova, diventato poi mio amico. La mancanza di risultati fu interpretata come mancanza di interesse in ST, a quel tempo SGS-Fairchild, Mazzoldi prosegui' i propri studi a Stoccolma.

A me rimase impresso il fatto che si poteva impiantare qualsiasi drogante e che si poteva avere il massimo della concentrazione di drogante  all'interno del silicio e non in superficie.
Scrissi un rapporto su come progettare le giunzioni iperbrusche con l'uso dell'impianto ionico ed un lavoro piu' generale sui processi scalati.
Questo lavoro fu presento ed accettato alla conferenza di Exeter del 1968, la conferenza sarebbe poi diventata ESSDERC o ESSCIRC in sieme al lavoro di Franco Morandi sul Planox.
Entrambi i lavori furono presentati da Mario Conte, forse il migliore ricercatore che ST abbia mai avuto, a nome singolo, mio e di Morandi.

I due transistori andorono in produzione e sono stati prodotti per oltre 20 anni.
I diodi non furono mai prodotti, non avendo superato il primo ostacolo costituito da Giordano Seragnoli, del laboratorio applicazione.
Giordano era un grande lavoratore, sempre al banco di lavoro davanti a qualche pezzo di televisore e non c'era modo di mettere in discussione isuioi risultati.

Nell'ottobre del 1969 il gruppo di progettazione transistori fu sciolto ed io passai a lavorare con Franco Berenga. Nei primi 5 anni di attivita' avevo impiegato molto tempo alla messa a punto dei processi di drogaggio. Problemi simili a quelli incontrati nel processo dei transistori c'erano per gli MOS.
L'impianto ionico sembrava la soluzione.

Non ho mai saputo come alla fine mi sia arrivato un Impiantatore ionico.
L'ing Raimondo Paletto dice di averlo approvato, ma qualcosa non torna con le date,
Mi semmbra che la disponibilita' sia precedente al periodo SGS-Ates.

All'impianto ionico e' legata molta parte della mia carriera.
Mi limito ad elencare alcuni dei molti personaggi, che hanno contribuito al suo sviluppo.
Servini, con molte conscenze scienticheed il primo a non essere intimorito dalla macchina.
Fausto Digiosafatte, conivolto in gran parte dell'attivita' svolta ad Agrate
Ricordo soltanto l'obiettivo 50, impiantare altrettanti elementi della tabella di Mendeleev.
Ci siamo fermati a 22, ma eravamo avanti alla Submicron facility della Cornell University.
Livio Baldi con in contributo al sistema di scansione.
Filippo di Natale, che dimostro' che in soli tre mesi si poteva prendere piena responsabilita' della gestione della attrezzatura.
Mario Raspagliese e Candido Medulla con originali sviluppi della sorgente.

(Da proseguire)